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摘要:光刻机是微电子制造的核心工艺与关键技术之一,用于在硅片上精确制造微电子设备。它通过光学、化学和机械技术的结合,将设计好的电路图案转移到硅片上,是制造集成电路不可或缺的设备之一。光刻机的精度和性能直接影响微电子产...